石墨熱場
石墨熱場是真空電阻爐的核心部分， 它的好壞直接影響到爐子的性能及其運營成本。石墨熱場的設(shè)計是多種多樣的，具體選擇哪一種設(shè)計方案，主要基于對工藝流程的具體分析。
大多數(shù)真空電阻爐的石墨熱場包括四個主要組成部分：
加熱器及其連接部件
隔熱部件（或者反射屏）
石墨熱場支撐部件
工件承載爐床
從形狀上來劃分，石墨熱場可以有方形和圓形之分，圓形石墨熱場在真空爐領(lǐng)域中占有較高的比例。
為了能夠從爐膛中方便地安裝和移除，所有的石墨熱場都被建造成為模塊的形式。
加熱器
大多數(shù)高溫真空爐是采用電阻加熱的方式。加熱器的選材可以是金屬或者石墨。根據(jù)需要，加熱器可以設(shè)計成多種形式。 加熱器材料的選擇主要取決于工作溫度。 對于低工作溫度的， 例如真空回火爐來說，價格便宜的鎳鉻合金就可以勝任。對于需要高溫，用來做熱處理的諸如， 火爐和釬焊爐來說，鉬和石墨是目前 常用的材料。多年以來，鉬金屬幾乎完全專用于真空熱處理和釬焊爐中，同時也普遍存在一種誤解是說： 從石墨材料中排放的物質(zhì)會和某些材料起化學(xué)反應(yīng)并且污染爐內(nèi)工件。
早期石墨加熱器僅限于形狀簡單的那種，而且石墨部件之間的的連接和電學(xué)性能不是很穩(wěn)定。
隨著石墨材料性能和加工工藝的提高，已經(jīng)有越來越多的石墨加熱器應(yīng)用到熱處理和釬焊爐中，在數(shù)量上已經(jīng)超過了鉬加熱器。
鑄錠爐石墨熱場主要由三種材料組成：特種石墨用來做加熱器、石墨電極、石墨坩堝、DS塊、支撐桿、進氣管等零部件。
石墨熱場
石墨熱場是多晶硅鑄錠爐的心臟、其內(nèi)裝石墨加熱器、隔熱層、坩堝和硅料等。多晶硅工藝生產(chǎn)過程中多晶硅鑄錠爐加熱室的結(jié)構(gòu)設(shè)計顯得至關(guān)重要。石墨的來源廣泛，可加工成各種形狀，且具有熱慣性小，可以快速加熱，耐高溫，耐熱沖擊性好，輻射面積大，加熱效率高，基本性能穩(wěn)定等特點，成為了現(xiàn)在石墨熱場的主要原料。 直拉單晶爐用石墨熱場系統(tǒng)簡介：熱系統(tǒng)長期使用在高溫下，所以要求石墨材質(zhì)結(jié)構(gòu)致密、堅固、耐用、變形小、無空洞、無裂紋、金屬雜質(zhì)含量少。熱場所需石墨材料，從制成原理分為：多用等靜壓，擠壓和模壓三種。
